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华海清科离子注入机已批量交付 再获存储芯片领域突破

2026-05-06 14:11230微发商务网每日经济新闻

近日,华海清科全资子公司芯嵛半导体(上海)有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内一家领先的存储芯片制造企业。此前,该设备已批量交付多家集成电路制造头部企业,此次交付标志着华海清科在存储芯片领域的进一步突破。

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